| 61 |
오토후로 |
ATI-100 메뉴얼
 |
심과장 |
2016-08-24 |
176017 |
| 60 |
SYCON |
STM-2XM RS232 통신 케이블 핀맵
|
심과장 |
2015-04-15 |
198449 |
| 59 |
Leybold |
Turbotronik NT20
|
윤소프트 |
2014-05-20 |
194930 |
| 58 |
브이시스(VSYS) |
UC216 Ultra High Vacuum Controller
 1
|
윤소프트 |
2014-05-20 |
202172 |
| 57 |
Edward |
Turbo Pump Controller SCU-800 manual
|
심과장 |
2014-04-16 |
203226 |
| 56 |
edward |
nXDS10i Scroll Pump manual
|
심과장 |
2014-04-16 |
202465 |
| 55 |
Pfeiffer |
TPG261(SingleGauge), TPG262(DualGauge)
|
윤소프트 |
2014-02-14 |
200791 |
 |
Pfeiffer |
HiPace 700 turbo pump
1
|
윤소프트 |
2013-11-12 |
240781 |
| 53 |
Leybold |
IONIVAC IM 540 (Ionization Gauge Controller)
|
윤소프트 |
2013-11-12 |
214114 |
| 52 |
Plasource |
Plasource RF Generator 통신 메뉴얼
|
심과장 |
2013-11-05 |
252578 |
| 51 |
Edwards |
APG 100-XM gauge (Active Pirani Gauge)
|
윤소프트 |
2013-11-05 |
222714 |
| 50 |
Edwards |
AIM-S gauge (Active Inverted Magnetron)
|
윤소프트 |
2013-11-05 |
253675 |
| 49 |
MKS |
MKS SRG-3 manual
|
심과장 |
2013-10-18 |
214441 |
| 48 |
Agilent Varian |
XGS-600 Instruction manual
1
|
윤소프트 |
2013-10-15 |
242545 |
| 47 |
Pfeiffer |
IKR 251 compact cold cathod gauge
2
|
윤소프트 |
2013-10-14 |
237893 |
| 46 |
Pfeiffer |
TPG256A MaxiGauge
|
윤소프트 |
2013-10-11 |
200364 |
| 45 |
Pfeiffer |
PBR 260 Compact full range BA gauge
|
윤소프트 |
2013-10-07 |
218446 |
| 44 |
Varian |
Varian Turbo-V 250 controller
|
윤소프트 |
2013-09-10 |
192227 |
| 43 |
PFPT |
REX-300 & AX-400
|
윤소프트 |
2013-09-06 |
205990 |
| 42 |
ENTechnologies |
Enerpulse 5
|
윤소프트 |
2013-09-06 |
272880 |
* Digital IO로 TMP run 하는 방법 : Pin 1의 +24V를 Pin 3, 4, 14에 동시 인가 되도록 구성