manual : Pfeiffer HiPace 700.pdf
TM 700 Electric Drive Unit.pdf
* Digital IO로 TMP run 하는 방법 : Pin 1의 +24V를 Pin 3, 4, 14에 동시 인가 되도록 구성
* Digital IO로 TMP run 하는 방법 : Pin 1의 +24V를 Pin 3, 4, 14에 동시 인가 되도록 구성